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- 混合ガス(Xe/Ar/Ne 混合) 一式
入札情報
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登録日2023.06.08
混合ガス(Xe/Ar/Ne 混合) 一式 - 2023年06月08日登録(案件ID:25624554)
案件公示書
案件仕様書
- 案件概要
(1) 調達件名及び数量 混合ガス(Xe/Ar/Ne 混合) 一式 (2) 特 質 等 仕様書による <概要> 本件は、スーパークリーンルーム産学官連携研究棟において、最先端の半導体製造プロセスでArF液浸レーザーガスとして使用しているXe(10ppm)/Ar(3.5%)/Neガスを調達するものである。
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- 履行場所
説明会日
---資料交付日
---資料等提出日
2023.06.15入札日
2023.06.22受付終了類似案件
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